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    型號:RTR100L-W500
    功率: 整機峰值功率4KW
    用途:用於不同材料的表麵處理、進行刻蝕
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    產品特點

    v真空室自動開關,一鍵式啟停,操作簡單方便
    v真空室內置張力控製係統,穩定材料漲縮,使處理更加平穩
    v高性能等離子發生器,激發更為穩定之等離子體
    v水平電極結構設計,更適合柔性材料
    v采用中通水冷電極,真正實現過程溫度控製,均衡均一
    v獨特的卷曲設計,解決卷式材料穿料問題,牽引材料更便捷
    v精確速度控製,精準控製速度的同時,實現恒張力恒速度

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    產品參數

    型號 RTR100L-W500
    控製係統 控製方式 全自動控製(自動/手動切換)
        PLC(標配)/PC(可選)
      操作係統 Windows 10
      觸摸屏 7寸
    整機規格 尺寸 W6900×D1650×H1150mm
    腔體 處理寬幅 <520mm
      材質 鋁合金(標配)/不鏽鋼(可選),腔體3段式
    冰水機 通路 用於電源、電極、真空泵浦的冷卻
      供電 AC380V、3PH、50/60Hz、3KW
    蝕刻能效 速率 ≥0.5µm/Min
      均勻性 ≥90%
    真空計 薄膜矽電容耐腐蝕 1個,0-10Torr
    流量計 MFC質量流量控製器 4個,量程0-2000ml/min
    真空泵 幹泵機組(螺杆泵+羅茨泵) 1套,120m3/h+1800 m3/h;極限真空值≤50mTorr
    發生器 中頻 40KHz,20KW
    溫度控製係統 過程溫度控製 30-150℃恒定可控
    張力控製係統 數顯張力 -
    其它 工藝氣體:14MPa減壓至0.3MPa,O2=9.99%;Ar=99.99%;N2=99.99%;CF4=99.999%
    氣體壓力:0.2MPa≤氣源≤1MPa;氣源壓力:0.3-0.8MPa;氣源純度:無油無水幹燥氣體;工作環境溫度:≤30℃;凍水流量:5 SLM;幹燥Air/N2流量:17 SLM

    注:以上參數僅供參考,本公司可能對相關產品參數進行調整,如有變動,恕不再另行通知。若有不明處,歡迎來電詢問。
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    工作原理

    利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質的一種狀態,也叫做物質的第四態,並不屬於常見的固液氣三態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、活性基團、激發態的核素(亞穩態)、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表麵,從而實現清潔、塗覆等目的。
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    應用領域

    v柔性材料的表麵清洗、表麵活化、表麵粗表麵刻蝕等
    v塑膠薄膜、金屬薄膜等水平卷式連續處理可繞折的卷材

    快速反應,專業配合,精心打造服務生態鏈
    1年質保,終身維護,提供配套服務
    承諾到達現場的時限:昆山4小時,蘇州8小時,江浙滬24小時,其他區域48小時
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    榮譽資質

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