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    文章導讀:最重要的肯定是等離子源也就是等離子發生器,它可以將氣體電離成等離子體,產生高能離子對材料表麵進行清洗、活化,那麽它還有哪些元件呢?
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    1、氣體係統::提供所需氣體,通常使用的氣體有氫氣、氮氣、氧氣等,其選擇取決於清洗對象的材質和表麵汙染物種類。
    2、真空係統:用於將清洗室內部的氣體抽出,以便在清洗過程中維持一個合適的真空度。
    2-1:真空泵:用於抽真空或破空,對真空室內氣壓進行調控;
    真空泵
    2-2:真空處理室:產品處理的區域,也是等離子體作用的地方;
    3、控製係統:半自動控製、全自動控製、PC電腦控製、液晶觸摸屏控製,不同產品采用不同控製方式;
    4、腔體外殼:整個外觀以及產品設計,好看的外觀是設備的加分項,同時設計也需要根據廠家需求、尺寸、空間、擺放位置等等信息來處理;
    5、等離子發生器:也是等離子源,有不同的頻率,分別是40KHz、13.56MHz、2.45GHz,其中13.56MHz是需要電源匹配器的。
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