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    真空室:放置需要清洗的矽片,是秋葵视频IOS在线免费观看的實際操作區域;
    真空係統:包括真空泵和各種真空閥門、計量儀器等,用於將真空室內的壓力降低到所需範圍內;
    等離子發生器:設備核心部件,產生等離子體的重要設備;
    氣體控製係統:用於控製氣體的流量、壓力等參數;
    控製係統:控製係統用於控製設備的運行狀態和參數設置。
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    1、矽片放置:將需要清洗的矽片放置在真空室內;
    2、真空處理:使用真空泵將真空室內的壓力降低到一定程度;
    3、加氣體:通過氣體控製係統加入氫氣、氮氣等氣體,使其在等離子發生器的作用下轉化為等離子體。
    4、清洗:等離子體中的離子和自由基與矽片表麵發生反應,可以去除表麵的汙染物和氧化層等。
    5、氣體清除:清洗結束後,通過氣體控製係統排出氫氣、氮氣等氣體,避免對矽片造成影響。
    6、通氣:使用真空泵將真空室內的氣體排出,恢複環境壓強。
    7、取出矽片:將清洗完的矽片取出。
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