用於半導體封裝的秋葵视频IOS在线免费观看設備主要由哪些部分組成?
按照等離子體產生的機製業界一般分為常壓(大氣)秋葵视频IOS在线免费观看設備和低壓(真空)秋葵视频IOS在线免费观看設備,半導體封裝行業用到的秋葵视频IOS在线免费观看設備屬於後者。秋葵视频IOS在线免费观看設備主要由以下幾部分組成:
1、真空腔體:帶有各種結構的放電電極,使得反應氣體激發生成等離子體,形成不同狀態、不同特性和密度的等離子體
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2、等離子發生器:含電源和匹配器,提供反應氣體放電能量來源,維持等離子體放電狀態;有不同的頻率區分。
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3、真空泵:抽取真空,保持真空度,抽走未電離的工藝氣體和反應副產物;包括單級泵和泵組。
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4、真空計:監測真空腔體的真空度。
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5、流量計:測量反應氣體的流量。
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6、反應氣體:各種工藝氣體,如Ar、H2、N2、O2、CF4等,根據需要使用單一氣體或者兩種以上的混合氣體。
7、電氣控製:含軟件,保證設備運行、監測、數據采集和工藝參數設定等。
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