秋葵视频IOS在线免费观看機看當前芯片製造
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於是各種後摩爾時代的技術開始被探索,MOSFET晶體管從二維進入3D FinFET,進入GAA;3D封裝、SiP封裝等先進封裝技術也成為企業加速布局的技術,Chiplet被派上用場,國際大廠紛紛加入這個行列;諸如碳納米管等新型半導體材料也在加速攻堅;存算一體新器件開始逐步替代傳統的MOS器件;甚至要超越晶體管進入量子計算;等等。整個半導體業界無不為芯片的下一步發展找尋新思路。現在有一種全新的、更劃算的技術或許能為芯片製造的微縮打開另一扇大門,那就是定向自組裝技術(DSA),它可以算是光刻技術的一種互補技術。
在2021年SPIE先進光刻大會上,全球領先的納米電子和數字技術研究和創新中心imec首次展示了定向自組裝(DSA)到間距小至18nm的模式線/空間的能力,一種優化的幹蝕刻化學方法成功地將圖案轉移到底層的厚SiN層中,這將使進一步的缺陷檢測成為可能。這些結果證實了定向自組裝技術(DSA)有潛力補充用於亞 2nm技術節點工業製造的傳統自上而下圖案化。
現在芯片通常通過光刻法製造。簡言之,電路的每一個微小特征都被投射在矽片上,在此過程中,會在矽片上塗覆被稱為光致抗蝕劑的光敏材料。之後,矽晶片將被置於不同圖案之下,這些圖案由光線穿透被稱為掩模的濾光片形成。光線每照射到一處,光刻膠便會固化,其餘部分則會被衝洗掉。在下一步驟中,會對晶圓進行化學蝕刻,由此在表麵的裸露部分形成功能結構。光刻技術的進步一直是推動後續半導體節點前進的關鍵。隨著芯片進入10nm以下,極紫外(EUV)技術必不可少,光刻變得過於複雜且成本高昂,一台EUV光刻機的成本超過了1億美元。相對的,芯片的成本也隨之水漲船高。
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