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    據各方媒體報道,上海微電子裝備(集團)股份有限公司披露,其將在2021-2022年交付第yi台28nm工藝的國產的沉浸式光刻機。雖然,這與當今荷蘭阿斯麥爾公司的5nmEUV光刻機相比還有數代的隔閡,但是差距已經有所縮小,畢竟在此之前國產光刻機還僅停留在90nm。
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    可以說,這台即將交付的28nm光刻機對中國的半導體產業以及上海微電子自身來說都是具有重要意義。因為雖然目前手機芯片即將進入5nm製程工藝,但是在物聯網、工業、新型存儲等眾多市場,28nm仍是比較主流的製程工藝節點。而且從台積電的2020年一季度的營收占比來看,其28/40/45/65nm的總體占比高達30%。這在一定程度上說明,哪怕中國完全失去芯片進口渠道,中國再上述市場上還是有實現自主化的可能。

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