真空等離子處理係統的均勻性和腔體容積和進氣方式有何關係？
文章導讀：隨著產品的科技化、精細化工藝要求的發展，某些產品在進行等離子處理中，對真空等離子處理係統的均勻性提出了更高的要求，其實影響真空等離子處理設備的因素眾多，如腔體大小、進氣方式、電極結構、電源頻率、氣體流量、功率大小等，任一因素的變化都會對等離子處理的均勻性產生較大的影響，今天秋葵视频黄色网站下载先向大家介紹一下腔體大小和進氣方式對等離子處理均勻性的影響的相關內容。
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一、真空等離子處理係統的腔體容積越大，處理的均勻性越難掌握
真空等離子處理係統的真空腔體容積越大，越難掌握其均勻性，相應的，在對電源的選擇上要格外慎重。當對產品的均勻性要求較高，且腔體容積要求較大時，秋葵视频黄色网站下载通常要根據所處理的產品規格、要求、產量、容積等多方麵因素，進行產品定製。定製型真空秋葵视频IOS在线免费观看機也需要以事實作為依據，腔體越大所需的RF電源功率就越大，因此如等離子發生器隻選用13.56MHz的RF電源時，為保證均勻性，腔體容積通常會控製在600L以內。
如果需使用3000W及以上功率，秋葵视频黄色网站下载會建議搭配美國AE、MKS或其他進口的RF電源，雖然在成本費用上會相對較高，設備運行時更加穩定可靠且均勻性有保障。如果處理的產品對均勻性要求很高，建議使用40KHz的中頻電源或將真空腔體控製在100L以內。
二、前進後排的進出氣方式對改善均勻性有幫助
秋葵视频黄色网站下载經多次對真空等離子處理係統的研究發現，使用前進氣後排氣的方法，對處理的均勻性相對較好。秋葵视频黄色网站下载在腔體內的進氣管的選擇上基本采用鋁管，將鋁管彎折並焊接成類似方形結構，與此同時在在鋁管上開孔，開孔位置以兩層電極板中間位置為佳，這樣可保證腔體內每層處理空間都有獨立的進氣口。如下圖所示：
此外，在針對一些腔體容積較大的設備時，其進氣結構需要進行一些改動和調整，當然這些改動和調整需要根據腔體的具體大小和結構來決定，以下所示的是其中一種結構：
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